ASTAR微电子研究所和SOITEC合作开发下一代碳化硅半导体
此次联合研究将有助于开发一个整体的SiC生态系统,并提高新加坡和巴黎的半导体制造能力。该研究合作计划于2024年年中完成,旨在实现:
开发用于Smart Cut? SiC基板SiC外延和金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)制造工艺,以生产更高质量的微芯片晶体管,并在制造过程中降低不合格率的同时提高产量;
为在Smart Cut? SiC基板上制造SiC功率MOSFET器件建立基准,并展示该工艺相较于传统体基板的优势。
Soitec首席技术官兼高级执行副总裁Christophe Maleville表示:“此次合作我们将有机会展示SmartSiC基板可扩展到200mm的性能,并为开发先进的外延解决方案铺平道路,以生产具有节能特性的更高质量的SiC晶圆。新加坡的半导体生态系统将受益于此,从而验证合理生产的SiC晶圆的卓越能效。”
版权声明:本文内容由互联网用户自发贡献,该文观点仅代表作者本人。本站仅提供信息存储空间服务,不拥有所有权,不承担相关法律责任。如发现本站有涉嫌抄袭侵权/违法违规的内容, 请发送邮件至 931614094@qq.com 举报,一经查实,本站将立刻删除。
相关内容